MC-014鈦合金等離子滲氮:
鈦合金的滲氮可在多種含氮介質(zhì)中進(jìn)行,如鹽浴滲氮、氣體滲氮及等離子滲氮。等離子體滲氮技術(shù)也可以應(yīng)用于鈦合金的表面處理。與鋼的滲氮相似,通人爐中的含氮?dú)怏w(如氨氣、氮?dú)?氫氣混合氣等)分解并電離成氮離子,并在電場(chǎng)作用下轟擊工件表面。粒子轟擊而形成的濺射可以有效地去除鈦合金表面的氧化物膜,使表面活化。同時(shí),粒子轟擊也會(huì)在表面形成晶體缺陷(如空位、位錯(cuò)等)。上述兩個(gè)因素的作用促進(jìn)了氮在表面的吸收,從而加快了滲氮速度。因此,鈦合金離子滲氮時(shí)的溫度比氣體滲氮的要低,一般在700一900℃之間。
理層由表面的TiN薄層(( 2.5 Earn )、較厚的Tie N亞表層(105m)及氮的擴(kuò)散層(10一15 pm)組成。處理所用氣體成分、壓力、時(shí)間和溫度直接影響離子滲氮層的組織和性能。欽合金的離子滲氮可以用氮?dú)?、氨氣、氮?dú)庖粴錃饣虻獨(dú)庖粴錃饣旌蠚怏w作為供氮?dú)怏w來形成氮離子。處理時(shí)的工作壓力一般來說在10一103 Pa(1-10 mbar)范圍內(nèi)。近期的研究表明,使用氮?dú)庖粴錃饣旌蠚怏w時(shí)表面TiN層形成速度較快,氮?dú)庖粴錃饣旌蠚怏w次之,純氮?dú)廨^慢。
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