MC-027不銹鋼等離子滲氮:
氣體氮化是氨分解產(chǎn)生活性氮原子,然后活性氮原子滲入工件表面,等離子體氮化所需的活性氮原子由含氮離子聚集在工件表面。.4是等離子體滲氮的示意圖。離子氮化的復(fù)雜過程可分為以下四個步驟:(1)在電場的作用下,氮原子或含氮分子電離成氮離子和電子。在電場力作用下,帶正電的氮離子向工件(負(fù)極)加速,而電子則向正極加速。(2)電子在電場作用下獲得高能量,在運(yùn)動過程中與中性氣體原子或分子碰撞,使氣體進(jìn)一步電離或成為刺激原子。當(dāng)刺激原子返回基態(tài)時,會伴隨著能量的釋放,部分能量會轉(zhuǎn)化為覆蓋工件表面的可見光,形成光。(3)在電場的作用下,氮離子群加速向工件表面移動,以較高的速度轟擊工件表面。氮離子攜帶的相當(dāng)一部分能量會在碰撞過程中轉(zhuǎn)化為熱能,加熱工件,加熱工件表面Fe、C和O當(dāng)原子撞擊工件表面時,在此過程中會產(chǎn)生二次電子Fe又會與N原子結(jié)合為FeN,然后再次吸附到工件表面,二次電子在電場作用下加速正極運(yùn)動,與大氣中的分子或原子碰撞,產(chǎn)生新的離子,使放電過程持續(xù)。(4)吸附工件表面FeN會逐漸分為含氮量低的化合物,如Fe 2-3 N或Fe 4 N等等,分解產(chǎn)生的部分氮原子會滲入工件表面形成滲層;一些氮原子回到大氣中,再次結(jié)合成FeN化合物。這一過程連續(xù)進(jìn)行,使工件實(shí)現(xiàn)滲氮的目的。
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